镇店之宝

行业企业市场标准科技新品会议展会政策原创

我国研发出新型气体传感器制备技术

香港分分彩怎么玩 2020年05月21日 09:33:33 来源:传感器专家网人气:10177
分享:
  【仪表网 仪表研发】近日,复旦大学微电子学院卢红亮教授领导的团队首次结合硬模板法、原子层沉积技术和水热工艺,在低功耗MEMS器件上原位合成了单层有序SnO2纳米碗支化ZnO纳米线的多级异质复合纳米材料,并以此作为气体传感器,对浓度低至1ppm的硫化氢实现了超灵敏和高选择性的探测。
 
相关论文配图
 
  据悉,目前常见的传感器制备技术,是将纳米传感材料印刷或滴涂到陶瓷管或MEMS器件上,极大地限制了传感器的可靠性和可重复性。因此,一种能够将纳米传感材料和MEMS微加热基底无缝集成的制备技术对于开发高稳定性和低功耗的高性能气体传感器至关重要。
 
  此次,研究人员研究设计的MEMS式单层有序SnO2纳米碗支化ZnO纳米线器件在250oC的工作温度下,对1ppm硫化氢的响应(Ra/Rg)高达6.24,其响应变化率(5.24)约为单层有序SnO2纳米碗器件的2.6倍,同时具有较快的响应/恢复速度。
 
  同时,研究也证明该MEMS式单层有序SnO2纳米碗支化ZnO纳米线器件,具有较好的长期稳定性和可重复性。多级异质结构不仅有效增加了材料的比表面积,提升了材料的气体吸附能力,同时异质结提高了材料的气敏响应能力。
 
  据了解,研究团队的传感材料原位制备于MEMS器件上,还具有低功耗和可集成化的优势,为气体监测领域开发高灵敏度、高稳定性的气体传感器提供了技术支持。
 
  目前,相关成果以发表在国际期刊Microsystems & Nanoengineering上,此期刊由中国科学院电子学研究所与原Nature出版集团合作出版,是原Nature出版集团合作出版的第一本工程类期刊。
关注本网官方微信 随时阅专业资讯
加入本网采购群 了解更多采购信息
@仪表网

全年征稿 / 资讯合作

联系邮箱:ybzhan@QQ.com

我要评论

文明上网,理性发言。(您还可以输入200个字符)

所有评论仅代表网友意见,与本站立场无关。

  • 凡本网注明"来源:仪表网"的所有作品,版权均属于仪表网,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的,应在授权范围内使用,并注明"来源:仪表网"。违反上述声明者,本网将追究其相关法律责任。
  • 本网转载并注明自其它来源的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品来源,并自负版权等法律责任。
  • 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。
  • 合作、投稿、转载授权等相关事宜,请联系本网。联系电话:0571-87759945,QQ:1103027433。
成丰仪表——中国第三代流量计领军品牌

返回首页
网站地图 江苏快3网 北京pk拾走势图 香港五分彩平台
申博太阳娱乐城 申博亚洲67878 太阳城网址多少 威尼斯人赌场登入
u宝 ada彩票东京1.5分彩 鸿彩网东京28 百家乐赌博
江苏快3开奖走势图 香港分分彩开奖号码 加拿大28预测软件 香港分分彩网站
北京快3预测 江苏快3助赢软件 江苏快3平台 北京pk拾官网
398PT.COM 261SUN.COM 578XTD.COM 316sun.com 8GJS.COM
8JHS.COM 158jbs.com 518sunbet.com 766BBIN.COM 8NGS.COM
538sj.com 918psb.com XSB578.COM 317SUN.COM 558jbs.com
187sunbet.com 163jbs.com 8JAS.COM 768jbs.com XSB587.COM